Camera curată pentru microelectronică este un mediu de producție special pentru a asigura calitatea și eficiența produsului în industria microelectronică. Pentru acest proiect sunt luați în considerare mulți factori, cum ar fi purificarea aerului, temperatura, umiditatea, controlul electrostatic și al zgomotului și așa mai departe.
Diferite clase de industrii de aplicare a camerelor curate pentru microelectronica:
1.Fabricarea circuitelor integrate
- ISO 1 - 3: folosit adesea în cel mai avansat proces de fotogravare, gravare și altele, care necesită un control extrem de ridicat al particulelor mici, iar o ușoară contaminare poate duce la defecte de cip.
- ISO 4 - 5: potrivit pentru depunerea de pelicule subțiri, implantarea ionilor și alte procese în fabricarea cipurilor și are, de asemenea, cerințe stricte de control al particulelor.
2.Test de încapsulare a semiconductorilor
- ISO 6 - 7: poate îndeplini cerințele majorității legăturilor de testare a ambalajului, cum ar fi ambalarea cipurilor, testul funcțional etc.
3. Fabricarea display-ului panoului
- ISO 5 - 6: utilizat în acoperirea și expunerea producției de panouri LCD.
4. Fabricarea componentelor electronice
- ISO 7 - 8: utilizat pentru producția de componente electronice cu cerințe de mediu relativ scăzute, cum ar fi rezistențe, condensatoare etc.
Pe scurt, cu cât este mai mare clasa camerei curate, cu atât este mai mic numărul de particule în suspensie din aer care pot fi controlate, cu atât mediul este mai pur și mai potrivit pentru procesele de producție microelectronice care necesită medii de producție extrem de stricte. Cu toate acestea, camera curată din clasa inferioară este potrivită pentru procesele de producție care necesită un mediu relativ liber.
Dispozitivele principale ale sistemului de purificare a aerului din camera curată microelectronică:
1. Filtru de aer
- Filtru de eficiență primară: folosit în principal pentru a filtra particulele mai mari, cum ar fi praful, părul etc., pentru a juca un rol preliminar în purificarea aerului.
- Filtre cu eficiență medie: filtrează particulele poluante de dimensiuni medii și îmbunătățește și mai mult curățenia aerului.
- Filtru HEPA: dispozitivul cheie pentru a obține o curățenie ridicată, are o eficiență ridicată de filtrare pentru particulele de peste 0.3 microni
- Filtru cu eficiență ultra-înaltă (filtru ULPA): pentru particule de 0.1 - 0.3 microni eficiența sa de filtrare poate fi peste 99,999% și este adesea folosit în locuri cu cerințe de curățenie extrem de ridicate.
2.Ventilator
- Responsabil de conducerea fluxului de aer, facand ca aerul sa treaca prin filtru si sa circule in camera curata.
3.Conducta
-folosit pentru a transporta aer filtrat pentru a asigura distribuția uniformă a aerului în toate zonele camerei curate.
4. Unitate de tratare a aerului proaspăt
- introduceți aer proaspăt afară, filtrați-l și reglați temperatura și umiditatea pentru a satisface nevoile camerei curate.
5. Unitate de purificare a aerului
-integrați o varietate de funcții de purificare și condiționare, cum ar fi filtrare, sterilizare, dezumidificare, umidificare și așa mai departe.
6. Camera de presiune statică
- stabilizează fluxul de aer, reduce turbulențele și zgomotul fluxului de aer și asigură un flux uniform de aer prin filtre.
7. Amortizor
- Reduceți zgomotul generat de ventilatoare și fluxul de aer, oferind un mediu de lucru liniștit
8. Senzori și controlere de presiune diferențială
- Monitorizați diferența de presiune între diferitele zone ale camerei curate pentru a vă asigura că aerul curge într-o direcție predeterminată pentru a preveni contaminarea încrucișată a contaminanților.
Aceste dispozitive lucrează împreună pentru a se asigura că calitatea aerului din camera curată microelectronica atinge clasa de curățenie necesară.
Etapele cheie și punctele tehnice ale ingineriei camerei curate microelectronice:
1. Planificarea proiectării: în conformitate cu procesul de producție și cerințele, determinați clasa camerei curate, zona, aspectul etc. În același timp, traseul fluxului de personal, materiale și echipamente, precum și proiectarea de purificare a aerului, aer condiționat iar sistemele de iluminat ar trebui luate în considerare.
2. Structura clădirii: ar trebui să aibă performanțe bune de etanșare și izolare termică pentru a reduce impactul mediului exterior asupra interiorului. În același timp, este necesar să se utilizeze materiale care nu sunt ușor de generat praf și electricitate statică, cum ar fi oțelul inoxidabil și aliajul de aluminiu.
3. Sistem de purificare a aerului: este o parte esențială a ingineriei camerei curate microelectronice. De obicei, filtrele de înaltă eficiență, ventilatoarele, conductele de aer și alte dispozitive sunt folosite pentru a îndepărta praful, bacteriile, virușii și alți poluanți din aerul din interior, astfel încât aerul să atingă un anumit nivel de curățenie.
4. Sistem de aer condiționat: trebuie să poată controla temperatura interioară, umiditatea și diferența de presiune pentru a îndeplini cerințele procesului de producție. În același timp, ar trebui adoptate echipamente și tehnologii de climatizare economisitoare de energie și ecologice pentru a reduce costurile de operare.
5. Control electrostatic: procesul de producție de microelectronice este predispus să genereze electricitate statică, care va afecta calitatea produsului. Prin urmare, este necesar să se ia măsuri de eliminare a parastaților, cum ar fi utilizarea eliminatoarelor de statică, așezarea pardoselilor antistatice etc.
6. Controlul zgomotului: Zgomotul ar afecta eficiența muncii și sănătatea personalului, așa că trebuie luate măsuri de control al zgomotului, cum ar fi utilizarea materialelor de izolare fonică, instalarea de amortizoare etc.
7. Sistem de iluminat: ar trebui să poată oferi suficientă luminozitate și uniformitate pentru a îndeplini cerințele procesului de producție. În același timp, ar trebui adoptate echipamente și tehnologii de iluminat economisitoare de energie și ecologice pentru a reduce costurile de operare.
8. Managementul personalului și al materialelor: intrarea și ieșirea personalului și materialelor vor fi strict gestionate și controlate pentru a reduce introducerea de poluanți externi. În același timp, personalul ar trebui să fie instruit pentru a-și îmbunătăți conștientizarea curățeniei și abilitățile operaționale.
9. Testare și verificare: după construirea camerei curate, trebuie efectuate teste și verificare pentru a se asigura că performanța camerei curate îndeplinește cerințele de proiectare, care includ curățarea aerului, temperatura, umiditatea, diferența de presiune, electricitatea statică etc.
În concluzie, ingineria camerei curate microelectronice este un sistem complex care necesită mai mulți factori. Doar prin adoptarea tehnologiei și echipamentelor avansate se poate construi o cameră curată care îndeplinește cerințele.
Tag-uri populare: cameră curată de microelectronice, furnizori de camere curate microelectronice din China, producători, fabrică, Curăță cu curat inspecție camere curate, Mediu curat fără particule pentru cameră, Solvenți curat pentru cameră, Mediu productiv pentru cameră curată, camere curate camere hardwall curate, Curățați izolatoare de cameră
